本實用新型為一種利用微波等離子體對廢氣處理的裝置，屬于環(huán)境保護領域。該裝置主要包括微波等離子體發(fā)生器、待處理氣體進入裝置、氣體檢測系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)；待處理氣體以切向氣流的方式引入到待處理氣體進入裝置形成旋轉氣流經(jīng)過同軸金屬管的間隙，等離子體炬釋放的熱量通過同軸的內金屬管壁傳熱對通過同軸管間隙的氣體預加熱，然后經(jīng)過待處理氣體進入裝置的開口端加入到微波等離子體發(fā)生器放電管出口處，與由微波等離子體發(fā)生器氣體注入單元注入的渦旋氣流放電形成的等離子體炬有效混合，發(fā)生化學反應，去除廢氣。本實用新型設備投資成本低，體系結構簡單，能在降低能耗的情況下維持微波處理廢氣裝置穩(wěn)定持久運行，提高廢氣去除效率。