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高Q高FoM的金屬介質(zhì)輔助GMR的折射率傳感芯片

747   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:11:54
本實(shí)用新型公開了一種高Q高FoM的金屬介質(zhì)輔助GMR的折射率傳感芯片,所述的折射率傳感芯片分為四層結(jié)構(gòu),第一層為底層的透明介質(zhì)基底,第二層為金屬薄膜層,第三層介質(zhì)光柵層,第四層為高折射率介質(zhì)光柵層;其中,介質(zhì)光柵層和高折射率介質(zhì)光柵層為周期性光柵陣列,光柵周期同為p,光柵占空比同為q,厚度分別為t1和t2,其中t1<t2;通過調(diào)整芯片的結(jié)構(gòu)參數(shù),包括金屬薄膜層厚度和高折射率介質(zhì)光柵層的光柵參數(shù)及厚度,在Q值較低的GMR(Guided?Mode Resonance)共振峰的基礎(chǔ)上,衍生出一個(gè)高Q的共振峰;該高Q共振峰處伴隨著相位突變,高Q共振峰具備偏振敏感性?;诒景l(fā)明可實(shí)現(xiàn)高靈敏的折射率傳感,對疾病診斷、藥物研發(fā)、生物化學(xué)檢測等領(lǐng)域具有發(fā)展性的意義。
聲明:
“高Q高FoM的金屬介質(zhì)輔助GMR的折射率傳感芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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