一種基于ITO導(dǎo)電玻璃上集成納米增強(qiáng)基底的復(fù)合式多通道SERS微流控芯片及其制備方法。本發(fā)明充分利用ITO導(dǎo)電玻璃表面光滑、導(dǎo)電性好的特性，將其作為SERS微結(jié)構(gòu)的基底表面，采用兩步計(jì)時(shí)電流沉積方法，通過控制納米顆粒成核與生長過程中的沉積電位與沉積時(shí)間，控制納米顆粒形貌與尺寸，可有效制備靈敏度高、穩(wěn)定性好、均勻分布的金屬納米結(jié)構(gòu)SERS基底。進(jìn)一步，將其與含陣列式微通道的PDMS蓋片鍵合，構(gòu)建獲得復(fù)合式、高通量的微流控SERS芯片，該芯片在同一片ITO玻璃上制作形成多個(gè)SERS檢測區(qū)，其納米增強(qiáng)基底是同步電化學(xué)沉積獲得，其形貌一致性好，信號(hào)重現(xiàn)性佳。