本發(fā)明公開了一種濕制程制作鎳合金精密零部件的方法，包括以下步驟，S1：基板研磨、S2：貼膜、S3：曝光、S4：顯影、S5：微合金沉積、S6：脫模和超聲波清洗、S7：檢測組裝；從半導體濕制程蝕刻工藝反相創(chuàng)新，結合干膜等濕制程以及MEMS鎳合金化學增材技術，通過曝光，顯影、微電鑄等復雜工藝來生產(chǎn)具有復雜圖形的高精密零部件；本發(fā)明可以快速、低成本獲得具有復雜圖形、尺寸精密的二維或三維金屬零部件，在鐘表機械零件、微電子、航空航天、傳感器等領域應用很廣，具有巨大的市場需求。