本實用新型提供一種氦氣回收提純裝置，該裝置包括：過濾器；化學吸附裝置；組分分析裝置；加氣罐；加熱器；催化系統(tǒng)；冷卻器；第一凈化系統(tǒng)；粗氦冷卻器；精餾塔塔；第二凈化系統(tǒng)；以及氦氣儲罐。采用本實用新型的氦氣回收提純裝置，能夠用于回收含有氦氣的工業(yè)廢氣，將氦氣的純度提高，也可以深入提純得到純氦、高純氦和超純氦產(chǎn)品。相對于現(xiàn)有技術(shù)，采用本實用新型的氦氣回收提純裝置具有成本較低、環(huán)保高效且適用范圍較廣的優(yōu)點。