超聲激勵(lì)的運(yùn)動(dòng)方向可調(diào)的微機(jī)器人及其原位制備芯片屬于微納驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域。所述超聲激勵(lì)的運(yùn)動(dòng)方向可調(diào)的微機(jī)器人包括微機(jī)器人主體、柔性尖銳尾部Ⅰ、柔性尖銳尾部Ⅱ和頭部捕獲口。所述微機(jī)器人主體采用橢圓形輪廓流線型設(shè)計(jì)，在微機(jī)器人主體的一端連接兩個(gè)成一定夾角(β)的柔性尖銳尾部，分別是柔性尖銳尾部Ⅰ和柔性尖銳尾部Ⅱ；在微機(jī)器人主體的另一端有頭部捕獲口。本發(fā)明所述微機(jī)器人及其原位制備芯片的生物兼容性良好，可廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、化學(xué)分析等領(lǐng)域，滿足靶向送藥及原位制造微器件存儲(chǔ)等應(yīng)用需求。