本發(fā)明提供的是無閥微泵及其封裝方法。首先制作好微泵泵體,在泵體的腔體處同心地放置一個(gè)環(huán)形密封彈性墊,在環(huán)形密封彈性墊上同心地放好壓電陶瓷蜂鳴片,壓電陶瓷蜂鳴片的PZT面朝腔體外,在壓電陶瓷蜂鳴片上同心放置一個(gè)金屬環(huán),使用夾具將各零部件自上而下地壓緊,然后,用密封樹脂膠將金屬環(huán)至泵體的各零部件進(jìn)行膠接、固化。本發(fā)明具有密封性能好、工作穩(wěn)定、可靠性高、便于批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于可用于微型飛機(jī)、微型航天器發(fā)動(dòng)機(jī)的推進(jìn)控制,以及微化學(xué)分析、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。