一種用于監(jiān)測(cè)制造系統(tǒng)中的制造工藝的監(jiān)測(cè)裝置。所述監(jiān)測(cè)的制造系統(tǒng)包括工藝室和多個(gè)流程部件。石英晶體微天平(QCM)傳感器監(jiān)測(cè)制造系統(tǒng)的多個(gè)流程部件中的一個(gè)流程部件，并且被配置用于在制造工藝期間暴露到該一個(gè)流程部件中的工藝化學(xué)品?？刂破鳒y(cè)量由于在制造工藝期間QCM傳感器和該一個(gè)流程部件中的工藝化學(xué)品之間的相互作用而導(dǎo)致的QCM傳感器的諧振頻率偏移?？刂破鞔_定工藝室中的制造工藝的參數(shù)，所述工藝室中的制造工藝的參數(shù)是作為該一個(gè)流程部件內(nèi)的QCM傳感器的所測(cè)量的諧振頻率偏移的函數(shù)。