本發(fā)明公開(kāi)一種氮氧電化學(xué)氣體傳感器芯片，其整體為片狀包括第一氧化鋯固體電解質(zhì)層、第二氧化鋯固體電解質(zhì)層、第三氧化鋯固體電解質(zhì)層、第四氧化鋯固體電解質(zhì)層、第五氧化鋯固體電解質(zhì)層、第六氧化鋯固體電解質(zhì)層、擴(kuò)散障一、第一外電極、第一內(nèi)電極、第一測(cè)試腔、第二測(cè)試腔、擴(kuò)散障二、第二內(nèi)電極、第三內(nèi)電極、第二外電極、填充有多孔陶瓷一的空氣參比腔以及加熱電極。本發(fā)明解決了普通氮氧傳感器陶瓷芯片大多有四個(gè)通孔，三個(gè)擴(kuò)散障，結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，生產(chǎn)加工難度大，不良率高，實(shí)際使用時(shí)通孔過(guò)多的部位易發(fā)生應(yīng)力集中，而使芯片開(kāi)裂的問(wèn)題，節(jié)約了成本。