本實用新型涉及一種等離子體增強型化學(xué)氣相淀積設(shè)備薄膜均勻性改善裝置。根據(jù)量測儀器獲得的圓片介質(zhì)厚度分布圖，結(jié)合八寸設(shè)備生長六寸、八寸圓片的實際情況，通過在八寸分氣盤內(nèi)側(cè)凹槽內(nèi)增加擋氣圓環(huán)，腔體上蓋出氣口零件中心開孔的方式，盡量使氣體收斂于六寸圓片區(qū)域，減小圓片邊緣的氣體流量，從而使長膜厚度均勻性改善。本實用新型避免了因長膜均勻性不合格導(dǎo)致的圓片報廢風(fēng)險，該方法可為改善等離子體增強型化學(xué)氣相淀積設(shè)備薄膜均勻性提供一種解決方案。