本發(fā)明公開一種化學藥品供給裝置,包括:用于灌入藥液的容器罐;緩沖器,其下部設有用于接收所述容器罐內的藥液后向半導體裝備輸送的排出閥,在上部形成用于向外部排出包含于所述藥液里的氣泡的氣泡排氣閥;殘量測定裝置,以用于測定所述容器罐內藥液的殘量;及體積可變裝置,以用于當利用所述殘量測定裝置進行的測定結果為容器罐內的藥液殘量在基準值以下時,使緩沖器內藥液的收容空間收縮及膨脹,從而吸入容器罐內的藥液。并且,如果測定的容器罐內藥液的殘量在基準值以下,則從緩沖器側形成低速真空吸入動作,因此可降低容器罐內的藥液的殘量而節(jié)省材料費用。