一種等離子化學(xué)氣相沉積機臺異常監(jiān)控方法，包括以下步驟：對腔體間的活動門閥進行監(jiān)測；獲取晶片掉落至活動門閥口的信息；發(fā)出控制指令暫停所述活動門閥閉合動作。上述等離子化學(xué)氣相沉積機臺異常監(jiān)控方法中，通過對腔體間的活動門閥進行監(jiān)測，實時監(jiān)測晶片是否掉落至活動門閥口，一旦出現(xiàn)晶片掉落的情況，則發(fā)出控制指令暫?；顒娱T閥的閉合動作，有效防止等離子化學(xué)氣相沉積機臺中因腔體間傳送系統(tǒng)異常而造成的晶片破損。同時，還提供了一種等離子化學(xué)氣相沉積機臺異常監(jiān)控系統(tǒng)。