本發(fā)明涉及對材料表面微納結(jié)構(gòu)進行物化特性的檢測方法,具體涉及在大氣環(huán)境下采用AFM-IMS或AFM-FAIMS聯(lián)用技術(shù),原位準(zhǔn)同步檢測微納結(jié)構(gòu)物化特性的方法。先在原子力顯微鏡上對被測樣品進行掃描成像得到物理特性數(shù)據(jù)后,利用電暈放電,使樣品的化學(xué)物質(zhì)脫附并離化為帶電離子,再利用微型機電接口裝置以遷移電場或使用人工氣流的方式將帶電離子送入離子遷移譜儀或高場不對稱波形離子遷移譜儀中進行分離檢測,確定化學(xué)成分。本發(fā)明能夠?qū)悠返奈锢硖匦院突瘜W(xué)成份直接對應(yīng)起來分析,具有原位(準(zhǔn))同步定點分析微納結(jié)構(gòu)的功能,整個過程在大氣環(huán)境下進行,對樣品限制低,分析測試效率大為提高,操作方便靈活,體積成本較低,便于在材料分析測試領(lǐng)域中普及推廣使用。