本發(fā)明揭示了一種在恒壓模式下
電化學(xué)拋光的方法,包括:預(yù)設(shè)一個具有電流分布的恒流配方,包括晶圓上具有不同半徑的多個位置以及為每個位置預(yù)設(shè)的電流;使用恒流配方拋光第一晶圓;在拋光過程中檢測并記錄每個位置的電壓;生成具有電壓分布的恒壓配方,包括多個位置以及對應(yīng)每個位置記錄的電壓;使用恒壓配方拋光第二晶圓。
聲明:
“在恒壓模式下電化學(xué)拋光的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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