本實用新型是化學氣相沉積設備進出水監(jiān)控裝置，其結構是主進水管和主出水管上端分別由底板下方穿過底板延伸至上方，主進水管上端連通進水支管的一端，主出水管上端連通出水支管的一端，靠近進水支管另一端的進水支管上設有球閥，靠近出水支管另一端的出水支管上設有SMC流量控制裝置。本實用新型的優(yōu)點：為每個工藝腔單獨的出水管分別配備SMC流量控制裝置，實現(xiàn)了對每個工藝腔內冷卻水出水的壓力、溫度、流量等的精密實時可視化監(jiān)控，實現(xiàn)更好的數(shù)據(jù)采集和分析，提高產(chǎn)品良率；為每個工藝腔單獨的進水管分別配備球閥，實現(xiàn)了對每個工藝腔內冷卻水進水的單獨開閉，方便單獨保養(yǎng)工藝腔或處理冷卻水問題，節(jié)約了耗時和人力。