本發(fā)明公開一種化學(xué)溶液沉積法制備Sm2O3薄膜的方法，包括：將分析純的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶劑中，配制成Sm3+濃度為0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶劑，室溫下攪拌均勻形成透明均勻穩(wěn)定的淡黃色溶液；滴加適量配制好的前驅(qū)液于基板表面，并打開勻膠機(jī)以旋涂鍍膜至均勻；將勻膠后得到的濕膜放在烤膠板上烘干后放入小型快速退火爐內(nèi)于200～500℃進(jìn)行退火；退火完成后隨爐冷卻至室溫，再重復(fù)旋涂退火工藝，直至Sm2O3薄膜達(dá)到所需厚度。該反應(yīng)的原料易得且成本低，工藝設(shè)備簡單，溶膠粒徑均勻，能耗低，且該反應(yīng)在常溫常壓下進(jìn)行，安全性好，可行性強(qiáng)。