本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電漿輔助化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括外腔，所述外腔內(nèi)部設(shè)有內(nèi)腔，所述內(nèi)腔頂部固定連接有電漿板，所述內(nèi)腔底部設(shè)有基板且基板底部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿與內(nèi)腔連接，所述外腔表面設(shè)有氣壓測(cè)量?jī)x和報(bào)警器且氣壓測(cè)量?jī)x位于報(bào)警器一側(cè)，所述氣壓測(cè)量?jī)x與報(bào)警器電信連接，所述外腔表面下部設(shè)有角度測(cè)量?jī)x。本實(shí)用新型通過(guò)調(diào)節(jié)基板底部?jī)蓚?cè)的電動(dòng)伸縮桿的長(zhǎng)短，可對(duì)基板的角度改變，方便將基板表面的物質(zhì)更好的粘接在電漿板表面，避免物體浪費(fèi)，氣壓測(cè)量?jī)x能對(duì)內(nèi)腔中的氣壓檢測(cè)，當(dāng)內(nèi)腔中的氣壓過(guò)高時(shí)，報(bào)警器會(huì)發(fā)出聲音，方便及時(shí)連接，避免內(nèi)腔中因氣壓過(guò)大導(dǎo)致爆炸，保證設(shè)備使用的安全性。