本發(fā)明屬于檢測型傳感器領(lǐng)域，具體為一種具有檢測功能的MEMS傳感器及檢測系統(tǒng)，MEMS傳感器為包含多個傳感器單元的傳感器陣列，每個傳感器單元表面涂覆化學或生物分子等生化材料形成具有檢測待檢測物質(zhì)的敏感膜層，敏感膜層可以特異性結(jié)合待檢測物質(zhì)，當其與待檢測物質(zhì)結(jié)合時會產(chǎn)生顏色變化，后續(xù)通過成像來觀察該變化，實現(xiàn)對待檢測物質(zhì)的實時快速、無標記檢測，具有良好的應(yīng)用前景。