本發(fā)明提出一種固定磨料化學機械研磨裝置，包括：研磨機臺；固定研磨微粒帶，設置于所述研磨機臺上；供料滾軸和回料滾軸，分別設置于所述固定研磨微粒帶兩端，所述固定研磨微粒帶卷設于所述供料滾軸和回料滾軸上；激光器，設置于所述供料滾軸的內部；光學感應器，設置于卷設有固定研磨微粒帶的供料滾軸外側，并且處于所述激光器發(fā)出的光線路徑上。本發(fā)明提出的固定磨料化學機械研磨裝置，能夠實時的探測到帶狀固定研磨微?？毂幌拇M的長度點，避免晶圓由于接觸到沒有研磨顆粒的研磨帶而被嚴重刮傷。同時節(jié)省了通過良率檢測步驟檢測出被刮傷晶圓的時間和成本，并且由于本方法檢測的實時性，避免了后續(xù)晶圓也受到同樣影響的風險。