提出了一種化學(xué)機械研磨去除率計算的方法，包括：確定研磨去除率計算公式MRR＝kPV；分析影響研磨去除率的因素，得到影響研磨去除率所述因素的函數(shù)方程；將所述因素的函數(shù)方程代入MRR＝kPV中，得到研磨去除率的具體計算公式，根據(jù)所述具體計算公式計算研磨去除率MRR。此外，還提出了一種化學(xué)機械研磨去除率計算的設(shè)備。本發(fā)明提出的上述方案，通過分析影響研磨去除率的因素，綜合考慮晶圓、粒子、研磨墊及研磨液四體相互作用關(guān)系，深刻揭示多體間作用規(guī)律，能更加客觀真實地描述化學(xué)機械研磨的工藝實際，對CMP的機理分析，版圖設(shè)計，以及大生產(chǎn)線工藝研發(fā)具有積極指導(dǎo)作用。