本發(fā)明公開了一種化學(xué)機械拋光液的制備工藝:將化學(xué)機械拋光液的各成分按其工作機理、功能、化學(xué)或物理性質(zhì)分組,平行的將每組的成分分別進行混合,得到各中間預(yù)混物,對中間預(yù)混物進行質(zhì)量控制測試,全部中間預(yù)混物檢測合格后,進行混合,制得化學(xué)機械拋光液。本發(fā)明的制備工藝縮短了大規(guī)模生產(chǎn)的工藝流程時間,極大地提高了產(chǎn)能,降低了生產(chǎn)成本,并且增加了工藝流程質(zhì)量控制點,提高了質(zhì)量控制水平,使產(chǎn)品質(zhì)量保障得到極大提升,降低了生產(chǎn)質(zhì)量事故風(fēng)險,因而具有明顯的經(jīng)濟價值。