本發(fā)明的成像質(zhì)量分析裝置具備：分析執(zhí)行部(1)，對(duì)設(shè)定在試樣(50)上的二維或試樣中的三維測(cè)量區(qū)域(50)內(nèi)的多個(gè)微小區(qū)域執(zhí)行規(guī)定的分析，收集數(shù)據(jù)；第1圖像創(chuàng)建部(21)，用分析執(zhí)行部(1)得到的數(shù)據(jù)創(chuàng)建分別反映試樣(50)包含的特定的一個(gè)或多個(gè)成分分布的一個(gè)或多個(gè)第1分布圖像；運(yùn)算式存儲(chǔ)部(23)，至少預(yù)先存儲(chǔ)包含一個(gè)或多個(gè)特定成分作為要素的化學(xué)反應(yīng)式、或包含該特定成分的量作為要素的計(jì)算式作為運(yùn)算式；信號(hào)值計(jì)算部(25)，用根據(jù)用戶指示從運(yùn)算式存儲(chǔ)部(23)獲取的運(yùn)算式，根據(jù)構(gòu)成一個(gè)或多個(gè)第1分布圖像的各微小區(qū)域的信號(hào)值，算出其他信號(hào)值；第2圖像創(chuàng)建部(26)，基于計(jì)算結(jié)果創(chuàng)建第2分布圖像。