一種氯硅烷體系微量硼、磷雜質的吸附方法，包括以下步驟：一種由固體吸附材料負載離子液體的復合材料，是將固體吸附材料作為支撐載體，將其與離子液體或者有機溶劑按比例混合均勻，進行研磨；所得混合物進行真空加熱干燥，得到以多孔材料為支撐載體的復合材料；所得復合吸附材料填充于吸附柱中，在高純氮氣下，將一定溫度、壓力的氯硅烷通入吸附柱；吸附柱出口收集處理后的氯硅烷，得到提純后的氯硅烷；復合吸附材料在一定溫度、壓力下進行氣體吹掃，進行脫附回收。本發(fā)明的硼、磷微量雜質吸附劑實現(xiàn)了氯硅烷體系中存在的微量硼、磷雜質的高效吸附；不經過高溫處理，能耗低，工藝簡單；吸附劑循環(huán)利用，生產過程中廢物排放少，避免了環(huán)境污染。