本發(fā)明涉及一種從硅片切削廢液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法,其特征在于包括以下步驟:廢切削液經(jīng)常溫下攪拌后,分離得固體和液體;固體加入純水?dāng)嚢?打碎,加入堿液進(jìn)行反應(yīng),再進(jìn)入離心分離裝置,得到碳化硅液流;加入酸液進(jìn)行反應(yīng),再進(jìn)入離心分離裝置,得到干凈的碳化硅液流。經(jīng)過清洗后,進(jìn)入烘干機(jī),烘干,風(fēng)力分級(jí),篩選后包裝。固液分離后的液體部分,加入脫色劑和助濾劑,進(jìn)入機(jī)械分離,分離出的液體中再次加入脫色劑和助濾劑,進(jìn)行機(jī)械分離,經(jīng)過離子交換系統(tǒng)過濾脫去鹽分后,經(jīng)四效蒸發(fā)系統(tǒng)脫去水分,即得到聚乙二醇切削液;本發(fā)明避免了硅片切削廢液直接排放對(duì)環(huán)境造成的污染,同時(shí)還有效降低了硅片切割時(shí)的生產(chǎn)成本。