本發(fā)明涉及切割機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片切割方法及切割廢料的回收。硅片切割方法，利用線切割設(shè)備的鋼絲在惰性氣體環(huán)境下對(duì)硅錠進(jìn)行切割，切割成硅片。硅片切割廢料回收方法，采用上述硅片切割方法切割硅錠后，會(huì)產(chǎn)生廢料，廢料的回收包括如下步驟：1)采用固液分離的方式從廢料中分離出聚乙二醇和固體混合物。2)對(duì)固體混合物進(jìn)行清洗。3)采用萃取分離的方式將固體混合物進(jìn)行初步的分離，分離出硅和碳化硅。4)將分離出的硅進(jìn)行浮選，浮選出硅和碳化硅。由于采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明能對(duì)硅片切割后的廢料進(jìn)行回收利用，降低了硅片切割的成本，并解決了切割廢料的污染，環(huán)保節(jié)能。