本發(fā)明提供了一種氯硅烷廢液的凈化回收裝置及氯硅烷廢液的凈化回收方法。該凈化回收裝置包括：過濾單元，包括一個或多個并聯(lián)設(shè)置的過濾器，各過濾器設(shè)置有氯硅烷廢液入口，氯硅烷廢液通過各過濾器后得到固體渣和過濾液，且過濾器的底部設(shè)置有固體渣出口，過濾器的頂部設(shè)置有過濾液出口；提純塔，提純塔的入口與過濾液出口相連通，過濾液通過提純塔后得到氯硅烷液體和提純后殘余液，提純塔的底部設(shè)置有提純后殘余液出口，提純塔的頂部設(shè)置有氯硅烷液體出口，提純后殘余液出口與氯硅烷廢液入口相連通。整個系統(tǒng)操作、運(yùn)行可靠，氯硅烷回收率高，純度高，而且在節(jié)能降耗、環(huán)保方面有顯著的效果。