本發(fā)明涉及氣體污染物處理技術。本發(fā)明公開了一種多級復合廢氣處理系統(tǒng)，包括氣體過濾裝置、微波光催化裝置、氣相氧化裝置和同步吸附裝置；所述微波光催化裝置，包括反應腔體、控制單元、微波發(fā)生單元、臭氧監(jiān)測單元、VOC監(jiān)測單元以及紫外光譜監(jiān)測單元；所述反應腔體內設有無極燈管，通過管道與廢水收集排放單元連接；所述臭氧監(jiān)測單元、VOC監(jiān)測單元和紫外光譜監(jiān)測單元與控制單元連接；所述微波發(fā)生單元具有至少2個微波發(fā)生器，用于產(chǎn)生強電磁波，激發(fā)無極燈管產(chǎn)生短波紫外光；所述微波發(fā)生器與控制單元連接。本發(fā)明廢氣處理效率高，處理過程中不產(chǎn)生二次污染，不存在高溫、爆炸等安全隱患，非常適合汽修廠烤漆房廢氣的處理。