本發(fā)明公開一種微波無極準分子燈處理廢水的裝置及裝置中的無極準分子燈的配氣系統(tǒng),裝置的廢水處理池置于微波發(fā)生器的外殼下方,無極準分子燈的1/5～1/3部分固定在諧振腔內(nèi),無極準分子燈未置于諧振腔內(nèi)的部分還套有一下端封閉的石英套管;微波發(fā)生器還包括對諧振腔降溫的風(fēng)扇和冷卻銅管,風(fēng)扇固定在外殼的內(nèi)側(cè)壁上,冷卻銅管焊接纏繞在外殼的外表面;無極準分子燈的配氣系統(tǒng)在真空泵前還設(shè)置一冷井,與第二三通閥的第三端口相連的管道上并聯(lián)連接有洗氣瓶,儲氣瓶,壓力指示計,緩沖瓶和充氣管道,真空配氣系統(tǒng)真空度高,能根據(jù)處理廢水具體所需的紫外波長填充不同的氣體使之激發(fā)出強度高、光效高的紫外光。