本發(fā)明提供了一種有機硅廢水處理系統(tǒng)及其處理方法，所述系統(tǒng)包括廢水預(yù)處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)，其中廢水處理系統(tǒng)包括依次連接的中和調(diào)節(jié)系統(tǒng)、沉降系統(tǒng)、一級催化氧化系統(tǒng)、一級絮凝沉降系統(tǒng)、生物處理系統(tǒng)、二級催化氧化系統(tǒng)和二級絮凝沉降系統(tǒng)。本發(fā)明針對不同種類有機硅廢水設(shè)置了不同的預(yù)處理系統(tǒng)，可以解決有機硅廢水種類繁多、成分復(fù)雜、廢水排放波動性大和規(guī)律性差等問題；本發(fā)明所述處理系統(tǒng)綜合處理成本低，對有機硅廢水的CODcr去除率高，處理后的廢水可達到國家一級排放標準。