一種彈性波裝置包括:壓電基板,主要包含鈮酸鋰;叉指換能器電極,設(shè)置在壓電基板上;以及電介質(zhì)膜,設(shè)置在壓電基板上,以便覆蓋叉指換能器電極,主要包含氧化硅。彈性波裝置使用瑞利波。叉指換能器電極包括多個主電極層(electrolyte)。多個主電極層包括一個或多個第一主電極層,所述一個或多個第一主電極層由針對彈性常數(shù)C11以及彈性常數(shù)C12而言C11
2/C12比大于氧化硅的C11
2/C12比的金屬制成。在將所述叉指換能器電極整體的厚度是約100%時,所述一個或多個第一主電極層的厚度的總和是約55%或更多。
聲明:
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