一種等離子體增強化學氣相沉積法制備多孔碳膜的方法,屬于
電化學和
新能源材料領(lǐng)域,該方法步驟包括:將清洗后的泡沫鎳材料放入等離子體增強化學氣相沉積設(shè)備的基片臺上;抽真空,并加熱設(shè)備中基片臺;開啟等離子體增強化學氣相沉積設(shè)備;向等離子體增強化學氣相沉積設(shè)備中通入工作氣體,其工作氣體包括放電氣體、碳源氣體;開始放電,電離工作氣體,產(chǎn)生等離子體,分解碳源氣體,在泡沫鎳材料上沉積多孔碳膜;放電結(jié)束,關(guān)閉設(shè)備降溫。本發(fā)明制備的多孔碳膜形貌及孔徑可控,具有相同比表面積,與基體的結(jié)合性、重復性好,該多孔碳材料作為超級電容器的電極材料表現(xiàn)出良好的雙電層特性。簡化了工藝步驟、降低了成本、同時減輕了對環(huán)境的污染。
聲明:
“等離子體增強化學氣相沉積法制備多孔碳膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)