本發(fā)明提供散熱特性優(yōu)異且在冷熱循環(huán)負(fù)荷時(shí)能夠抑制熱應(yīng)力作用于半導(dǎo)體元件等發(fā)熱體上的散熱板、使用該散熱板的半導(dǎo)體裝置和該散熱板的制造方法。本發(fā)明的散熱板(30)用于擴(kuò)散從所搭載的發(fā)熱體(3)產(chǎn)生的熱,其特征在于,具備在碳質(zhì)部件中填充金屬材料的金屬基
復(fù)合材料構(gòu)成的板主體(31)和形成在該板主體(31)的至少一側(cè)板面的金屬表層(32,33),構(gòu)成所述板主體的金屬基復(fù)合材料通過在碳質(zhì)部件中含浸熔融的金屬材料而形成,金屬表層(32,33)通過使金屬粉末碰撞在板主體(31)的所述板面而形成。
聲明:
“散熱板、半導(dǎo)體裝置和散熱板的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)