本發(fā)明提供了一種基于可見光的
復(fù)合材料沉積系統(tǒng),其包括激光源、至少兩個(gè)升降機(jī)構(gòu)、至少兩個(gè)第一反射鏡、真空室、至少兩個(gè)用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺(tái)以及用于沉積復(fù)合材料的基片;所述第一固定平臺(tái)以及基片均設(shè)置于所述真空室內(nèi),所述至少兩個(gè)第一固定平臺(tái)分別與所述基片的預(yù)設(shè)區(qū)域相對(duì),所述真空室設(shè)置有通光部,所述激光源與所述第一反射鏡的出光方向呈預(yù)設(shè)夾角;所述至少兩個(gè)升降機(jī)構(gòu)分別與所述至少兩個(gè)第一反射鏡一一對(duì)應(yīng)地連接,所述至少三個(gè)第一反射鏡分別與所述至少兩個(gè)第一固定平臺(tái)對(duì)應(yīng),所述升降機(jī)構(gòu)用于調(diào)整對(duì)應(yīng)所述第一反射鏡的高度。
聲明:
“基于可見光的復(fù)合材料沉積系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)