亞穩(wěn)態(tài)AlZnO固溶合金薄膜激光燒蝕制作方法屬于光學(xué)
功能材料技術(shù)領(lǐng)域?,F(xiàn)有用來制作AlZnO固溶合金薄膜的方法十分繁瑣。本發(fā)明之亞穩(wěn)態(tài)AlZnO固溶合金薄膜激光燒蝕制作方法屬于一種Sol?Gel法,其特征在于,確定AlxZn1?xO中的x的值為:0<x<1,按所述x的值確定乙酸鋅和乙酸鋁的摩爾比,將所述乙酸鋅和乙酸鋁溶于有機(jī)溶劑,加入與鋅離子和鋁離子等物質(zhì)量的乙醇胺,攪拌后得溶膠液;將所述溶膠液旋涂于基片上,低溫?zé)崽幚淼媚z膜;采用激光燒蝕所述凝膠膜,激光功率為5~30W,燒蝕時(shí)間為1~1000sec,激光光源出光口與凝膠膜之間的距離為1~50cm,得亞穩(wěn)態(tài)AlZnO固溶合金薄膜。
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“亞穩(wěn)態(tài)AlZnO固溶合金薄膜激光燒蝕制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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