亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 真空冶金技術(shù)

> 等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟及其制備方法

等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟及其制備方法

860   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:01
本發(fā)明提供了一種等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟,包括碳化硅陶瓷舟體,所述碳化硅陶瓷舟體由形狀為“U”形的基座、設(shè)置在所述基座左頂端的第一支撐架和設(shè)置在所述基座右頂端的第二支撐架一體成型而成,所述第一支撐架的頂部開設(shè)有第一卡槽,所述第二支撐架的頂部開設(shè)有第二卡槽,所述基座側(cè)壁、第一支撐架和第二支撐架均為鏤空結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供了一種制備上述等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟的方法。本發(fā)明碳化硅陶瓷舟具有孔隙率低、高強度、輕質(zhì)、高抗氧性、高抗震性等性能,并且其不與硅片反應(yīng),可廣泛用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積鍍膜領(lǐng)域。
聲明:
“等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
真空冶金
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記