本發(fā)明提供了一種等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟,包括碳化硅陶瓷舟體,所述碳化硅陶瓷舟體由形狀為“U”形的基座、設(shè)置在所述基座左頂端的第一支撐架和設(shè)置在所述基座右頂端的第二支撐架一體成型而成,所述第一支撐架的頂部開設(shè)有第一卡槽,所述第二支撐架的頂部開設(shè)有第二卡槽,所述基座側(cè)壁、第一支撐架和第二支撐架均為鏤空結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供了一種制備上述等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟的方法。本發(fā)明碳化硅陶瓷舟具有孔隙率低、高強度、輕質(zhì)、高抗氧性、高抗震性等性能,并且其不與硅片反應(yīng),可廣泛用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積鍍膜領(lǐng)域。
聲明:
“等離子體增強化學(xué)氣相沉積用碳化硅陶瓷舟及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)