權(quán)利要求書： 1.一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，包括清洗槽（1）、三通管（2）和缸體（3），所述清洗槽（1）內(nèi)設(shè)有噴淋機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)；

所述承載機(jī)構(gòu)包括可相對于清洗槽（1）上下移動的承載臺（4）和復(fù)位組件，所述承載臺（4）上設(shè)有推拉桿（5），所述推拉桿（5）的一端貫穿清洗槽（1）底部后設(shè)有活塞（6），所述活塞（6）滑動連接于所述缸體（3）內(nèi)；

所述清洗槽（1）底部設(shè)有排水口（7），所述排水口（7）與三通管（2）的進(jìn)水口相連通，所述三通管（2）的第一出水口通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與所述噴淋機(jī)構(gòu)相連通，所述三通管（2）的第二出水口與缸體（3）遠(yuǎn)離推拉桿（5）的一端相連通，所述循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)包括用于過濾碎屑并通過快速換裝組件安裝的濾芯（8）和驅(qū)動水循環(huán)的水泵（9）；

所述缸體（3）遠(yuǎn)離推拉桿（5）的一端還設(shè)有排污管（10），所述排污管（10）上設(shè)有第一閥（11），所述第二出水口上設(shè)有第二閥（12），所述清洗槽（1）上設(shè)有用于開關(guān)所述排水口（7）的封閉機(jī)構(gòu)；

承載臺（4）承重時，第一閥（11）導(dǎo)通，第二閥（12）不導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口（7）打開；

承載臺（4）復(fù)位時，第一閥（11）不導(dǎo)通，第二閥（12）導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口（7）關(guān)閉。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述封閉機(jī)構(gòu)包括支撐彈簧（16）、連接桿（17）、設(shè)于清洗槽（1）底部的盒體（13）、活動套設(shè)于推拉桿（5）外側(cè)的套環(huán)（14）和固設(shè)于推拉桿（5）外側(cè)的推動環(huán)（15）；

所述盒體（13）上設(shè)有通孔（18），所述排水口（7）通過通孔（18）與所述三通管（2）的進(jìn)水口相連通，所述盒體（13）內(nèi)活動連接有用于將所述通孔（18）隔斷的封閉滑板（19），所述支撐彈簧（16）設(shè)于封閉滑板（19）與盒體（13）內(nèi)壁之間，所述連接桿（17）的一端與套環(huán)（14）鉸接，另一端與封閉滑板（19）鉸接，所述推動環(huán)（15）設(shè)于清洗槽（1）與套環(huán)（14）之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述盒體（13）內(nèi)設(shè)有與所述通孔（18）連通的腔體（20），所述封閉滑板（19）滑動連接于腔體（20）內(nèi)，所述腔體（20）遠(yuǎn)離通孔（18）的一側(cè)設(shè)有限位通槽（21），所述封閉滑板（19）的一端通過限位通槽（21）伸出至盒體（13）外側(cè)與所述連接桿（17）鉸接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽（1）底部設(shè)有與承載臺（4）相匹配的容置槽（22），所述復(fù)位組件包括設(shè)于容置槽（22）內(nèi)的導(dǎo)向桿（23）和套設(shè)于導(dǎo)向桿（23）上的復(fù)位彈簧（24），所述承載臺（4）上設(shè)有與導(dǎo)向桿（23）相匹配的導(dǎo)向孔（25），所述復(fù)位彈簧（24）支撐于承載臺（4）和容置槽（22）之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一項所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述噴淋機(jī)構(gòu)包括設(shè)于清洗槽（1）內(nèi)側(cè)的空心板（26），所述空心板（26）上設(shè)有若干個噴嘴（27），所述三通管（2）的第一出水口通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與所述空心板（26）相連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述快速換裝組件包括箱體（28）和貫穿箱體（28）的換裝板（29），所述換裝板（29）上設(shè)有兩個過濾通槽（30），所述過濾通槽（30）內(nèi)安裝有過濾管（31）和限位過濾管（31）的凸環(huán)（32），所述濾芯（8）設(shè)于過濾管（31）內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述換裝板（29）的兩端設(shè)有定位弧板（33），所述箱體（28）的外壁兩側(cè)設(shè)有與定位弧板（33）相對應(yīng)的弧形凹槽（34）。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述箱體（28）內(nèi)于換裝板（29）上下兩側(cè)設(shè)有定位組件，所述定位組件包括定位環(huán)（35）、壓緊彈簧（36）和用于驅(qū)動定位環(huán)（35）運(yùn)動的驅(qū)動件；

所述定位環(huán)（35）靠近換裝板（29）的一側(cè)設(shè)有限位凸臺（37），所述換裝板（29）上設(shè)有與限位凸臺（37）相匹配的限位凹槽（38），所述壓緊彈簧（36）支撐于定位環(huán)（35）與箱體（28）之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述定位環(huán)（35）遠(yuǎn)離換裝板（29）的一側(cè)設(shè)有定位凹槽（39），所述箱體（28）內(nèi)設(shè)有與定位凹槽（39）相對應(yīng)的導(dǎo)向管（40），所述壓緊彈簧（36）活動套設(shè)于導(dǎo)向管（40）外側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其特征在于，所述驅(qū)動件包括拉環(huán)（42）和若干個驅(qū)動桿（41），若干個所述驅(qū)動桿（41）的一端分別與定位環(huán)（35）遠(yuǎn)離換裝板（29）的一側(cè)固定連接，另一端分別與位于所述箱體（28）外側(cè)的拉環(huán)（42）固定連接；若干個所述驅(qū)動桿（41）分別貫穿所述箱體（28）并與所述箱體（28）滑動連接。

說明書： 一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置。

背景技術(shù)[0002] 在半導(dǎo)體的制程工藝中，晶圓清洗是其重要的一個組成部分，現(xiàn)有的常規(guī)清洗手段是通過采用濕法清洗工藝的全自動槽式清洗機(jī)進(jìn)行清洗。目前的全自動槽式清洗機(jī)大都

存在有循環(huán)噴淋系統(tǒng)，其可對清洗液進(jìn)行過濾回收，實現(xiàn)清洗液的循環(huán)噴淋，提高晶圓的清

洗效果，并利用濾芯將清洗液中的碎屑過濾而出，從而降低了水資源的消耗。

[0003] 但是現(xiàn)有的槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置在長期使用后，會在濾芯處積攢著大量的碎屑，其需要工作人員停機(jī)定期進(jìn)行拆裝清理，其操作較為麻煩，降低了工作效率，

不利于生產(chǎn)使用。針對上述問題，急需在原有的基礎(chǔ)上進(jìn)行創(chuàng)新設(shè)計。

發(fā)明內(nèi)容[0004] 本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，可以在每次循環(huán)清洗過后，都可對濾芯進(jìn)行反向沖洗，使得積攢的碎屑清除，并將

攜帶有碎屑的少量清洗液分離排出，從而達(dá)到了無需操作人員頻繁拆裝更換濾芯的效果。

[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明是采用下述技術(shù)方案實現(xiàn)的：[0006] 本發(fā)明提供了一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，包括清洗槽、三通管和缸體，所述清洗槽內(nèi)設(shè)有噴淋機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)；

[0007] 所述承載機(jī)構(gòu)包括可相對于清洗槽上下移動的承載臺和復(fù)位組件，所述承載臺上設(shè)有推拉桿，所述推拉桿的一端貫穿清洗槽底部后設(shè)有活塞，所述活塞滑動連接于所述缸

體內(nèi)；

[0008] 所述清洗槽底部設(shè)有排水口，所述排水口與三通管的進(jìn)水口相連通，所述三通管的第一出水口通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與所述噴淋機(jī)構(gòu)相連通，所述三通管的第二出水口與缸體

遠(yuǎn)離推拉桿的一端相連通，所述循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)包括用于過濾碎屑并通過快速換裝組件安裝

的濾芯和驅(qū)動水循環(huán)的水泵；

[0009] 所述缸體遠(yuǎn)離推拉桿的一端還設(shè)有排污管，所述排污管上設(shè)有第一閥，所述第二出水口上設(shè)有第二閥，所述清洗槽上設(shè)有用于開關(guān)所述排水口的封閉機(jī)構(gòu)；

[0010] 承載臺承重時，第一閥導(dǎo)通，第二閥不導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口打開；[0011] 承載臺復(fù)位時，第一閥不導(dǎo)通，第二閥導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口關(guān)閉。[0012] 進(jìn)一步的，所述封閉機(jī)構(gòu)包括支撐彈簧、連接桿、設(shè)于清洗槽底部的盒體、活動套設(shè)于推拉桿外側(cè)的套環(huán)和固設(shè)于推拉桿外側(cè)的推動環(huán)；

[0013] 所述盒體上設(shè)有通孔，所述排水口通過通孔與所述三通管的進(jìn)水口相連通，所述盒體內(nèi)活動連接有用于將所述通孔隔斷的封閉滑板，所述支撐彈簧設(shè)于封閉滑板與盒體內(nèi)

壁之間，所述連接桿的一端與套環(huán)鉸接，另一端與封閉滑板鉸接，所述推動環(huán)設(shè)于清洗槽與

套環(huán)之間。

[0014] 進(jìn)一步的，所述盒體內(nèi)設(shè)有與所述通孔連通的腔體，所述封閉滑板滑動連接于腔體內(nèi)，所述腔體遠(yuǎn)離通孔的一側(cè)設(shè)有限位通槽，所述封閉滑板的一端通過限位通槽伸出至

盒體外側(cè)與所述連接桿鉸接。

[0015] 進(jìn)一步的，所述清洗槽底部設(shè)有與承載臺相匹配的容置槽，所述復(fù)位組件包括設(shè)于容置槽內(nèi)的導(dǎo)向桿和套設(shè)于導(dǎo)向桿上的復(fù)位彈簧，所述承載臺上設(shè)有與導(dǎo)向桿相匹配的

導(dǎo)向孔，所述復(fù)位彈簧支撐于承載臺和容置槽之間。

[0016] 進(jìn)一步的，所述噴淋機(jī)構(gòu)包括設(shè)于清洗槽內(nèi)側(cè)的空心板，所述空心板上設(shè)有若干個噴嘴，所述三通管的第一出水口通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與所述空心板相連通。

[0017] 進(jìn)一步的，所述快速換裝組件包括箱體和貫穿箱體的換裝板，所述換裝板上設(shè)有兩個過濾通槽，所述過濾通槽內(nèi)安裝有過濾管和限位過濾管的凸環(huán)，所述濾芯設(shè)于過濾管

內(nèi)。

[0018] 進(jìn)一步的，所述換裝板的兩端設(shè)有定位弧板，所述箱體的外壁兩側(cè)設(shè)有與定位弧板相對應(yīng)的弧形凹槽。

[0019] 進(jìn)一步的，所述箱體內(nèi)于換裝板上下兩側(cè)設(shè)有定位組件，所述定位組件包括定位環(huán)、壓緊彈簧和用于驅(qū)動定位環(huán)運(yùn)動的驅(qū)動件；

[0020] 所述定位環(huán)靠近換裝板的一側(cè)設(shè)有限位凸臺，所述換裝板上設(shè)有與限位凸臺相匹配的限位凹槽，所述壓緊彈簧支撐于定位環(huán)與箱體之間。

[0021] 進(jìn)一步的，所述定位環(huán)遠(yuǎn)離換裝板的一側(cè)設(shè)有定位凹槽，所述箱體內(nèi)設(shè)有與定位凹槽相對應(yīng)的導(dǎo)向管，所述壓緊彈簧活動套設(shè)于導(dǎo)向管外側(cè)。

[0022] 進(jìn)一步的，所述驅(qū)動件包括拉環(huán)和若干個驅(qū)動桿，若干個所述驅(qū)動桿的一端分別與定位環(huán)遠(yuǎn)離換裝板的一側(cè)固定連接，另一端分別與位于所述箱體外側(cè)的拉環(huán)固定連接；

若干個所述驅(qū)動桿分別貫穿所述箱體并與所述箱體滑動連接。

[0023] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所達(dá)到的有益效果是：[0024] 1、該槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，通過使承載臺在料箱重力的作用下克服復(fù)位組件的張力下降，從而帶動推拉桿運(yùn)動，進(jìn)而使活塞于缸體中進(jìn)行相對運(yùn)動，使得裝置

在每次對料箱進(jìn)行循環(huán)清洗過后，都可利用循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)中的水的重力作用以及負(fù)壓對濾

芯進(jìn)行反向沖洗，使得積攢的碎屑清除，并使攜帶有碎屑的少量清洗液分離排出；從而達(dá)到

了無需操作人員頻繁拆裝更換濾芯的效果，其提高了工作效率，省時省力，便于使用。

[0025] 2、該槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，通過推拉桿帶動推動環(huán)運(yùn)動，使其推動套環(huán)，再利用套環(huán)借助連接桿拉動封閉滑板，使封閉滑板對排水口進(jìn)行開閉，使得裝置在恰

當(dāng)?shù)臅r候自動完成對排水口的開啟與關(guān)閉，而不需要額外進(jìn)行控制，提高了裝置的自動化

效果。

[0026] 3、該槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，具有快速換裝組件，通過推動換裝板，使推動側(cè)的定位弧板與弧形凹槽相合，進(jìn)而使限位凹槽移動至箱體中心處，即讓新的過濾管

被推入至箱體中，以此可快速的完成對濾芯的更換，使得在無需停運(yùn)設(shè)備的狀態(tài)下即可完

成換裝，操作方便，更換效率高，應(yīng)用價值大。

附圖說明[0027] 附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本發(fā)明的實施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中：

[0028] 圖1是本發(fā)明實施例提供的一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

[0029] 圖2是圖1所示槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置中A處的放大示意圖；[0030] 圖3是圖1所示槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置中B處的放大示意圖；[0031] 圖4是圖1所示槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置的清洗槽的俯視示意圖；[0032] 圖5是圖1所示槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置的快速換裝組件的側(cè)視示意圖；[0033] 圖6是圖1所示槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置的換裝板的結(jié)構(gòu)示意圖；[0034] 圖7是圖1所示槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置在承重狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖；[0035] 圖中：1、清洗槽；2、三通管；3、缸體；4、承載臺；5、推拉桿；6、活塞；7、排水口；8、濾芯；9、水泵；10、排污管；11、第一閥；12、第二閥；13、盒體；14、套環(huán)；15、推動環(huán)；16、支撐彈簧；17、連接桿；18、通孔；19、封閉滑板；20、腔體；21、限位通槽；22、容置槽；23、導(dǎo)向桿；24、復(fù)位彈簧；25、導(dǎo)向孔；26、空心板；27、噴嘴；28、箱體；29、換裝板；30、過濾通槽；31、過濾管；32、凸環(huán)；33、定位弧板；34、弧形凹槽；35、定位環(huán)；36、壓緊彈簧；37、限位凸臺；38、限位凹槽；39、定位凹槽；40、導(dǎo)向管；41、驅(qū)動桿；42、拉環(huán)。

具體實施方式[0036] 下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。

[0037] 在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為

對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多

個”的含義是兩個或兩個以上。

[0038] 在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以通過具體情況理解上述術(shù)語

在本發(fā)明中的具體含義。

[0039] 實施例一：[0040] 本發(fā)明實施例提供了一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，如圖1所示，包括清洗槽1，清洗槽1的兩側(cè)內(nèi)壁設(shè)有噴淋機(jī)構(gòu)，內(nèi)底部設(shè)有承載機(jī)構(gòu)；承載機(jī)構(gòu)包括可相對于清

洗槽1上下移動的承載臺4和復(fù)位組件，承載臺4上設(shè)有推拉桿5，推拉桿5的一端貫穿清洗槽

1底部后設(shè)有活塞6，活塞6滑動連接于缸體3內(nèi)，清洗槽1的底部設(shè)有排水口7，排水口7通過

管道與三通管2的進(jìn)水口相連通，使三通管2的第一出水口通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與噴淋機(jī)構(gòu)相

連通，三通管2的第二出水口與缸體3遠(yuǎn)離推拉桿5的一端相連通，其中循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)包括用

于過濾碎屑并通過快速換裝組件安裝的濾芯8和驅(qū)動水循環(huán)的水泵9；缸體3遠(yuǎn)離推拉桿5的

一端還設(shè)有排污管10，排污管10上設(shè)有第一閥11，第二出水口上設(shè)有第二閥12，清洗槽1上

設(shè)有用于開關(guān)排水口7的封閉機(jī)構(gòu)；承載臺4承重時，第一閥11導(dǎo)通，第二閥12不導(dǎo)通，封閉

機(jī)構(gòu)將排水口7打開；承載臺4復(fù)位時，第一閥11不導(dǎo)通，第二閥12導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口7

關(guān)閉。

[0041] 需要說明的是，循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與噴淋機(jī)構(gòu)可設(shè)有多組，均勻分布于清洗槽1的四周，具體布置數(shù)量以及位置可根據(jù)實際使用情況進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。在本實施例中第一閥11和

第二閥12采用單向閥，其開合通過水壓進(jìn)行控制，但不僅限于此，也可以是電磁閥或其它閥

體，通過開關(guān)或傳感器進(jìn)行控制，只需具有同等效果即可。

[0042] 具體的，使用時將裝有晶圓的料箱放置在承載臺4上，承載臺4在料箱重力的作用下克服復(fù)位組件的張力逐漸下降，承載臺4帶動推拉桿5一同運(yùn)動，推拉桿5推動活塞6于缸

體3中進(jìn)行相對運(yùn)動，由于此時在水壓的作用下第一閥11導(dǎo)通，第二閥12不導(dǎo)通，于是活塞6

將缸體3中積存的含有少量的碎屑的清洗液通過排污管10排出；當(dāng)承載臺4下降至行程盡頭

時，如圖7所示，活塞6恰好將連通第二閥12的管口堵塞，此時封閉機(jī)構(gòu)將排水口7打開。隨后

啟動循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)，循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)的水泵9驅(qū)動清洗液依次沿著排水口7、三通管2、濾芯8和

噴淋機(jī)構(gòu)進(jìn)行循環(huán)流動，完成循環(huán)噴淋，其中，由于第二閥12被活塞6堵塞，使清洗液不會經(jīng)

由缸體3從排污管10排出，于是濾芯8對循環(huán)輸送中的碎屑進(jìn)行過濾，并使其附著積留在濾

芯8與三通管2的第一出水口之間。當(dāng)晶圓清洗完成時，關(guān)閉水泵9，取走料箱，于是承載臺4

在復(fù)位組件的作用下逐漸上升，此時封閉機(jī)構(gòu)將排水口7關(guān)閉，承載臺4通過推拉桿5拉動活

塞6上升，活塞6松開對連通第二閥12的管口的堵塞；隨后，在負(fù)壓的作用下，第一閥11不導(dǎo)

通，第二閥12導(dǎo)通，又由于排水口7關(guān)閉，進(jìn)而使循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)以及三通管2中殘留的清洗液

通過三通管2的第二出水口進(jìn)入缸體3的無桿腔中積存，于是在負(fù)壓及重力的作用下，循環(huán)

輸送機(jī)構(gòu)中的水反向流動，從而濾芯8被反向沖洗，并將積攢的碎屑轉(zhuǎn)移至缸體3中進(jìn)行存

儲，此時一個周期結(jié)束。待下一個料箱放置時，重復(fù)上述操作，使碎屑排出，本發(fā)明通過設(shè)置

以上結(jié)構(gòu)起到了在料箱每次清洗過后，都可對濾芯8進(jìn)行反向沖洗的作用，將積攢的碎屑清

除，并使攜帶有碎屑的少量清洗液分離排出；從而達(dá)到了無需操作人員頻繁拆裝更換濾芯8

的效果，提高了工作效率，省時省力，便于使用。

[0043] 在本實施例中，如圖1?2所示，封閉機(jī)構(gòu)包括支撐彈簧16、連接桿17、設(shè)于清洗槽1底部的盒體13、活動套設(shè)于推拉桿5外側(cè)的套環(huán)14和固設(shè)于推拉桿5外側(cè)的推動環(huán)15；盒體

13上設(shè)有通孔18，排水口7通過通孔18與三通管2的進(jìn)水口相連通，盒體13內(nèi)活動連接有用

于將通孔18隔斷的封閉滑板19，支撐彈簧16設(shè)于封閉滑板19與盒體13內(nèi)壁之間，連接桿17

的一端與套環(huán)14鉸接，另一端與封閉滑板19鉸接，推動環(huán)15設(shè)于清洗槽1與套環(huán)14之間，盒

體13內(nèi)設(shè)有與通孔18連通的腔體20，封閉滑板19滑動連接于腔體20內(nèi)，腔體20遠(yuǎn)離通孔18

的一側(cè)設(shè)有限位通槽21，封閉滑板19的一端通過限位通槽21伸出至盒體13外側(cè)與連接桿17

鉸接。

[0044] 具體的，承載臺4承重時，通過推拉桿5帶動推動環(huán)15一同向下運(yùn)動，隨后推動環(huán)15推動套環(huán)14運(yùn)動，套環(huán)14通過連接桿17拉動封閉滑板19運(yùn)動，封閉滑板19沿著限位通槽21

進(jìn)行滑動，于是封閉滑板19克服支撐彈簧16的張力回縮至腔體20中，當(dāng)承載臺4下降至行程

盡頭時，封閉滑板19不在對通孔18進(jìn)行阻隔，此時排水口7通過通孔18與三通管2的進(jìn)水口

相連通，即封閉機(jī)構(gòu)將排水口7打開，而當(dāng)承載臺4復(fù)位時，支撐彈簧16不再推動套環(huán)14，于

是封閉滑板19在支撐彈簧16張力作用下將通孔18阻隔，即封閉機(jī)構(gòu)將排水口7關(guān)閉。通過設(shè)

置以上結(jié)構(gòu)可使得裝置自動在恰當(dāng)?shù)臅r候完成對排水口7的開啟與關(guān)閉，而不需要額外進(jìn)

行控制，其提高了裝置的自動化效果。

[0045] 在本實施例中，如圖1所示，清洗槽1底部設(shè)有與承載臺4相匹配的容置槽22，復(fù)位組件包括設(shè)于容置槽22內(nèi)的導(dǎo)向桿23和套設(shè)于導(dǎo)向桿23上的復(fù)位彈簧24，承載臺4上設(shè)有

與導(dǎo)向桿23相匹配的導(dǎo)向孔25，復(fù)位彈簧24支撐于承載臺4和容置槽22之間。承載臺4承重

時，將逐漸下降至容置槽22中，而當(dāng)料箱取走后，承載臺4在復(fù)位彈簧24張力作用下從容置

槽22中升起，為了避免復(fù)位彈簧24在使用過程中發(fā)生彎曲，設(shè)置有導(dǎo)向桿23，承載臺4通過

導(dǎo)向孔25沿著導(dǎo)向桿23進(jìn)行上下運(yùn)動。通過設(shè)置以上結(jié)構(gòu)提高了承載臺4上下運(yùn)動時的穩(wěn)

定性，且避免了復(fù)位組件直接暴露在清洗槽1內(nèi)，延長了部件的使用壽命。

[0046] 在本實施例中，如圖4所示，噴淋機(jī)構(gòu)包括設(shè)于清洗槽1內(nèi)側(cè)的空心板26，空心板26上設(shè)有若干個噴嘴27，噴嘴27均勻排列于空心板26靠近承載臺4的一側(cè)，并且對準(zhǔn)于斜下

方，三通管2的第一出水口通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與空心板26相連通，在進(jìn)行循環(huán)噴淋時，清洗

液通過循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)入至空心板26，空心板26將清洗液分流至各個噴嘴27，噴嘴27對料

箱進(jìn)行噴淋，需要說明的是，噴嘴27高于清洗槽1進(jìn)行清洗時的液面。通過設(shè)置以上結(jié)構(gòu)可

使料箱得到充分的噴淋。有助于提高晶圓的清洗效果。

[0047] 實施例二：[0048] 如圖1和5所示，本實施例提供了一種槽式全自動清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，其與實施例一的不同之處在于，對快速換裝組件做出了具體的說明。

[0049] 快速換裝組件包括箱體28和貫穿箱體28的換裝板29，換裝板29上設(shè)有兩個過濾通槽30，過濾通槽30內(nèi)安裝有過濾管31和限位過濾管31的凸環(huán)32，濾芯8設(shè)于過濾管31內(nèi)，換

裝板29的兩端設(shè)有定位弧板33，箱體28的外壁兩側(cè)設(shè)有與定位弧板33相對應(yīng)的弧形凹槽

34。

[0050] 具體的，當(dāng)需要換裝時，在位于箱體28外側(cè)的過濾通槽30內(nèi)放置裝有濾芯8的過濾管31，過濾管31由于凸環(huán)32的限位可安裝于過濾通槽30內(nèi)側(cè)，隨后推動換裝板29，使推動側(cè)

的定位弧板33與弧形凹槽34相合，此時限位凹槽38恰好移動至箱體28中心處，于是新的過

濾管31就被推入至箱體28中，而舊的過濾管31則隨著換裝板29從箱體28另一側(cè)被推出，此

時將其取下，即完成了對濾芯8的換裝。

[0051] 作為本發(fā)明的一種實施例，為了避免過濾管31以及換裝板29在使用過程隨意移動，箱體28內(nèi)于換裝板29上下兩側(cè)還設(shè)有定位組件。定位組件包括定位環(huán)35、壓緊彈簧36和

用于驅(qū)動定位環(huán)35運(yùn)動的驅(qū)動件；定位環(huán)35靠近換裝板29的一側(cè)設(shè)有限位凸臺37，換裝板

29上設(shè)有與限位凸臺37相匹配的限位凹槽38，壓緊彈簧36支撐于定位環(huán)35與箱體28之間。

[0052] 具體的，當(dāng)限位凹槽38移動至濾芯8中心處后，松開驅(qū)動件，此時推拉桿5在壓緊彈簧36張力作用下與換裝板29保持貼合，同時使限位凸臺37與限位凹槽38保持卡合，于是上

方的限位凸臺37與過濾管31頂部相貼合，使其被限位；進(jìn)而，換裝板29也將無法再移動。而

需要再次進(jìn)行換裝時，通過驅(qū)動件使限位凸臺37與限位凹槽38分離，即可進(jìn)行。

[0053] 如圖3和5所示，為實現(xiàn)驅(qū)動定位環(huán)35運(yùn)動的功能，本發(fā)明實施例提供的驅(qū)動件，具體的可以包含有拉環(huán)42和若干個驅(qū)動桿41，若干個所述驅(qū)動桿41的一端分別與定位環(huán)35遠(yuǎn)

離換裝板29的一側(cè)固定連接，另一端分別與位于所述箱體28外側(cè)的拉環(huán)42固定連接；若干

個所述驅(qū)動桿41分別貫穿所述箱體28并與所述箱體28滑動連接。使用時，拉動箱體28上下

兩側(cè)的拉環(huán)42，拉環(huán)42即可通過驅(qū)動桿41帶動定位環(huán)35運(yùn)動，其操作方便，便于使用。

[0054] 為進(jìn)一步提高定位環(huán)35運(yùn)動的穩(wěn)定性，定位環(huán)35遠(yuǎn)離換裝板29的一側(cè)設(shè)有定位凹槽39，箱體28內(nèi)設(shè)有與定位凹槽39相對應(yīng)的導(dǎo)向管40，壓緊彈簧36活動套設(shè)于導(dǎo)向管40外

側(cè)；使用時，定位環(huán)35可沿著導(dǎo)向管40滑動。

[0055] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)包括有快速換裝組件，快速換裝組件可快速的完成對濾芯8的更換，使得在無需停運(yùn)設(shè)備的狀態(tài)下即可完成換裝，其操作方

便，更換效率高，應(yīng)用價值高。

[0056] 以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變形，這些改進(jìn)和變形也應(yīng)

視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。