本發(fā)明揭示一種傳感器系統(tǒng),其具有一氮化鋁(AlN)基板(4)、一在該基板之上的W層(2)、一經(jīng)調(diào)適以向該W層施加電致動(dòng)信號(hào)的信號(hào)源(70)及一經(jīng)調(diào)適以感測該W層的響應(yīng)的傳感器(72)。該W層可包含一薄膜, 該薄膜上具有多種類型的可選擇保護(hù)層(12)。應(yīng)用包括感測溫度、流體流速、流體水平、壓力及化學(xué)環(huán)境。對(duì)一平面加熱器而言,該W層包含分布在該基板上的多個(gè)傳導(dǎo)線(34),對(duì)于一矩形基板(32)而言該等線大致平行且蜿蜒成型,且對(duì)于一圓形基板(42)而言該等線沿在該基板的相對(duì)極點(diǎn)(44)處合并的各自的經(jīng)線(40)延伸。
聲明:
“具有鎢/氮化鋁的穩(wěn)定高溫傳感器/加熱器系統(tǒng)和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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