本發(fā)明提供了一種可避免反應(yīng)液污染晶圓的方法,反應(yīng)液通過供液管道供應(yīng)至化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)腔,該供液管道上依次設(shè)置有供液氣動調(diào)節(jié)閥和用于霧化反應(yīng)液的霧化裝置,該霧化裝置通過與其相連的供氣管道供應(yīng)的清洗氣體清洗,該供氣管道上具有用于控制清洗氣體進入霧化裝置的清洗氣動調(diào)節(jié)閥,當正常清洗該霧化裝置時,該反應(yīng)腔處于正常清洗壓力范圍內(nèi)。現(xiàn)有技術(shù)在清洗霧化裝置時沒偵測反應(yīng)腔壓力,易在清洗異常時出現(xiàn)反應(yīng)液在霧化裝置中冷凝且滯留時間過久而產(chǎn)生污染晶圓的雜質(zhì)的現(xiàn)象。本發(fā)明在開啟清洗氣動調(diào)節(jié)閥清洗霧化裝置時,偵測該反應(yīng)腔內(nèi)壓力是否在正常清洗壓力范圍內(nèi)且在否時發(fā)出報警。本發(fā)明可避免反應(yīng)液在霧化裝置中產(chǎn)生污染晶圓的雜質(zhì)。
聲明:
“可避免反應(yīng)液污染晶圓的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)