本發(fā)明的主題是一種用于在沉積工藝期間測定化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中的至少一個(gè)硅棒的表面溫度的方法,其中測量裝置A測定設(shè)置在硅棒上的測量區(qū)域中的表面溫度,并且測量裝置B連續(xù)地或不連續(xù)地確定所述硅棒的至少一個(gè)直徑和/或布置在反應(yīng)器中的至少一個(gè)其它硅棒的至少一個(gè)直徑,測量區(qū)域的大小和/或位置根據(jù)所確定的一個(gè)或多個(gè)直徑進(jìn)行適配。本發(fā)明的另一主題是一種用于測定表面溫度的設(shè)備以及包括該設(shè)備的反應(yīng)器。
聲明:
“測定表面溫度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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