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應用于硅片化學機械拋光設備中的定位轉換裝置

915   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 07:08:33
本發(fā)明涉及一種定位裝置。裝置主要包括基板、驅(qū)動裝置和定位在基板上的由驅(qū)動裝置驅(qū)動的同步定位裝置。采用硅片托來放置機械手干末端執(zhí)行器運送過來的待拋光硅片,伺服電機驅(qū)動齒輪轉動,齒輪和轉盤嚙合,進而帶動與轉盤相連接的各拉鉤件轉動,從而拉動各定位桿在基板的限位條孔中同時定向移動,當定位桿接觸到硅片邊緣時即實現(xiàn)定位功能,此時安裝在固定板上的光電傳感器感測到轉盤上限位板的存在,控制中心隨即發(fā)出指令使伺服電機反轉以使定位桿恢復到最初位置。定位前后,分別是機械手的干、濕末端執(zhí)行器捉取硅片,可以避免末端執(zhí)行器對已拋光或未拋光硅片的交叉污染。同時該定位過程也為機械手及時更換干/濕末端執(zhí)行器贏取了時間,有利于硅片裝載、拋光過程的順利進行。
聲明:
“應用于硅片化學機械拋光設備中的定位轉換裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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