本實用新型公開了一種用于化學(xué)氣相沉積的可控制備裝置,包括連接底座、固定渦殼、連接法蘭和驅(qū)動電機,所述連接底座頂部安裝有固定渦殼,且固定渦殼位于連接底座頂部一側(cè),所述固定渦殼一側(cè)設(shè)有連接法蘭,所述連接底座頂部安裝有驅(qū)動電機,且驅(qū)動電機位于連接底座頂部另一側(cè),所述驅(qū)動電機的旋轉(zhuǎn)端上安裝有驅(qū)動軸,且驅(qū)動軸貫穿連接法蘭伸進固定渦殼內(nèi)。本實用新型的有益效果是,方便對連接葉輪進行安裝與拆卸,方便對連接葉輪檢修與更換,提高了工作效率,采用全包圍螺母,提高了驅(qū)動軸的密封性,可以防止驅(qū)動軸的位置處聚集污垢,防止出現(xiàn)不能拆卸的現(xiàn)象,提高了防水密封性能,提高了工作效率,防止造成水資源浪費,通過注水口方便向固定渦殼內(nèi)注水。
聲明:
“用于化學(xué)氣相沉積的可控制備裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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