本實(shí)用新型涉及一種
硅烷類合成尾氣回收裝置,其包括進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐;其中,所述進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接;所述進(jìn)氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一自動(dòng)調(diào)節(jié)閥。本實(shí)用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、穩(wěn)定可靠且不會(huì)產(chǎn)生新的廢水等諸多優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“硅烷類合成尾氣回收裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)