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用于OLED掩膜版及坩堝清洗的組合物

969   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:15:04
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于OLED掩膜版及坩堝清洗的組合物,屬于濕電子化學(xué)品領(lǐng)域,其所含各組分按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)計(jì)為:無(wú)機(jī)強(qiáng)堿性物質(zhì)5?20%、有機(jī)堿0.5?15%、有機(jī)助劑0.1?50%、螯合劑0.1?10%、PEG?Gemini型非離子表面活性劑0.01?10%、余量為水。本發(fā)明所得組合物能快速并有效的清洗去除蒸鍍工藝中掩膜版及蒸鍍?cè)O(shè)備坩堝上附著的氟化鋰電極材料,且易清洗無(wú)殘留,可有效提高清洗效率。
聲明:
“用于OLED掩膜版及坩堝清洗的組合物” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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