本發(fā)明公開了一種能夠提升介電性能的壓電薄膜生產(chǎn)工藝,具體涉及
功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。通過對壓電薄膜的介電系數(shù)以及加工環(huán)節(jié)中流程對壓電薄膜介電系數(shù)的影響進(jìn)行分析,可以得出壓電薄膜的結(jié)晶相本征介電性和壓電薄膜的尺寸效應(yīng)是介電特性主要的變化依據(jù),根據(jù)分析結(jié)果,進(jìn)行了初始薄膜制備、單軸拉伸、高壓極化、磁控濺射等制備工藝,對每項工藝步驟的參數(shù)進(jìn)行探索,并對PVDF敏感材料進(jìn)行傳感器封裝,進(jìn)行了傳感器產(chǎn)品非常重要的壓電系數(shù)參數(shù)的檢測,其靜態(tài)壓電系數(shù)d33達(dá)到13.1PC/N,滿足使用要求,獲得可以實際工程配套的工程化產(chǎn)品,提高了對壓電薄膜的自動化加工效果,且在保障加工效率的同時對壓電薄膜的介電性起到了保障的作用。
聲明:
“能夠提升介電性能的壓電薄膜生產(chǎn)工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)