一種三明治結構多層薄膜及其制備方法,屬于
功能材料技術領域。所述三明治結構多層薄膜包括薄膜A、薄膜B交替形成的(2n+1)層薄膜;當所述薄膜A為KMgBST或BST薄膜時,所述薄膜B為ST薄膜;當所述薄膜A為ST薄膜時,所述薄膜B為KMgBST或BST薄膜;所述BST薄膜、KMgBST薄膜和ST薄膜的厚度為80~160nm。本發(fā)明多層薄膜在低偏壓下具有高調諧率和低介電損耗的優(yōu)異綜合介電性能,在高偏壓下具有高的絕緣強度和長的使用壽命;且本發(fā)明中ST層薄膜能為BST薄膜提供形核位置,促進薄膜形核生長,為下一層薄膜的生長提供模板,從而形成致密的非晶結構及良好的表面形貌。
聲明:
“三明治結構多層薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)