本發(fā)明涉及一種利用等離子體激活電子倍增器的方法,屬于真空電子技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述方法是利用等離子體的高反應(yīng)活性清除電子倍增器表面的污染物,同時等離子體態(tài)的氧可以進(jìn)入電子倍增器的
功能材料內(nèi)部,填補(bǔ)功能材料在大電子束流轟擊下形成的缺陷位,從而起到激活性能衰退或失效電子倍增器的作用;與常規(guī)的加熱退火處理工藝相比,本發(fā)明所述方法簡化了工藝過程,能夠?qū)崿F(xiàn)電子倍增器功能的快速激活,而且電子倍增器功能的恢復(fù)效果更好。
聲明:
“利用等離子體激活電子倍增器的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)