本發(fā)明屬于
功能材料與器件領(lǐng)域,具體涉及一種具有籽晶層的鋯鈦酸鋇鈣薄膜及其制備方法。所述鋯鈦酸鋇鈣薄膜包括基片層、籽晶層和薄膜層,所述籽晶層在所述基片層和薄膜層之間,所述籽晶層和薄膜層的化學(xué)通式為Ba(1?x)CaxTi(1?y)ZryO3,其中x=0.01~0.16,y=0.02~0.12。所述制備方法使用低濃度前驅(qū)體溶液制備籽晶層,然后再用高濃度前驅(qū)體溶液制備鋯鈦酸鋇鈣薄膜,解決了鋯鈦酸鋇鈣薄膜制備過程中開裂的問題,提高無鉛薄膜的壓電性和介電性,且低成本和可控,制得的具有籽晶層的鋯鈦酸鋇鈣薄膜平整度高,均勻性好,無裂紋,質(zhì)量高,使其在微機(jī)電系統(tǒng)、鐵電存儲(chǔ)系統(tǒng)或多功能集成器件中得到實(shí)際應(yīng)用。
聲明:
“具有籽晶層的鋯鈦酸鋇鈣薄膜及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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