本發(fā)明屬于微機(jī)電領(lǐng)域,具體涉及一種利用三維激光加工技術(shù)制備磁遙控驅(qū)動(dòng)微結(jié)構(gòu)的方法。其首先利用物理或化學(xué)方法合成磁性材料,然后將磁性材料與光敏聚合材料體系共混制備磁性光刻膠,再利用搭建的激光三維加工系統(tǒng)逐點(diǎn)掃描磁性光刻膠,顯影后即獲得磁遙控驅(qū)動(dòng)的微結(jié)構(gòu)器件。制備的微結(jié)構(gòu)充分利用了各種磁性材料的制備工藝及其磁學(xué)性質(zhì),并將激光加工技術(shù)與磁功能材料有機(jī)結(jié)合,突破了傳統(tǒng)激光聚合材料只是起結(jié)構(gòu)支撐作用的局限,進(jìn)而利用鐵磁或電磁實(shí)現(xiàn)該微結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)。其最大特點(diǎn)是該驅(qū)動(dòng)方式簡(jiǎn)單、易操作、無(wú)接觸、可遙控,并且該制備過(guò)程不受微結(jié)構(gòu)形狀的限制,可以加工包含曲面在內(nèi)的任意三維結(jié)構(gòu)。