提供一種把圖案形成用材料液體化時,可以抑制氣泡發(fā)生的液體組合物,以及用該組合物能以高生產(chǎn)率地形成膜圖案的成膜裝置。本發(fā)明的成膜裝置,具有:生成含有有機
功能材料、溶劑和表面活性劑的液體組合物生成裝置S;向基板P噴出由液體組合物生成裝置S生成的液體組合物構(gòu)成的液滴的液滴噴出裝置IJ。
聲明:
“組合物、成膜方法及成膜裝置、電光學裝置及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)