本發(fā)明公開了一種碳化硅微粉回收的方法,其特征在于將硅晶片加工工藝中的線切削廢砂漿進(jìn)行多級處理,包括如下步驟:固液分離、碳化硅粒度分級、碳化硅提純、微粉干燥、分散篩松。本發(fā)明的方法使回收的碳化硅微粉達(dá)到與全新碳化硅微粉相同或相近的性能指標(biāo),并滿足硅晶片工序的使用要求,達(dá)到完全替代新料的回收方法,通過該方法可以實(shí)現(xiàn)同一批原料多次回收循環(huán)再利用的目的,不僅最大限度地提高了原材料的使用效率,降低了硅晶片的生產(chǎn)成本,而且避免了廢砂漿排放給環(huán)境造成的污染。
聲明:
“碳化硅微粉回收的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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